Kriosiurblys yra vakuuminis siurblys, kuris naudoja žemos temperatūros paviršių dujoms kondensuoti, taip pat žinomas kaip kondensato siurblys. Kriosiurblys gali gauti švarų vakuumą su didžiausiu siurbimo greičiu ir mažiausiu ribiniu slėgiu ir yra plačiai naudojamas puslaidininkių ir integrinių grandynų tyrimams ir gamyboje, taip pat molekulinio pluošto tyrimams, vakuuminio dengimo įrangai, vakuuminio paviršiaus analizės instrumentams, jonams. implantatoriai ir erdvės modeliavimas. prietaisai ir kt.
Siurbimo principas Kriosiurblyje yra šalta plokštelė, aušinama iki labai žemos temperatūros skystu heliu arba šaldytuvu. Jis kondensuoja dujas ir palaiko kondensato garų slėgį žemiau didžiausio siurblio slėgio, kad būtų pasiektas siurbimo efektas. Pagrindinės žemos temperatūros siurbimo funkcijos yra žemos temperatūros kondensacija, žemos temperatūros adsorbcija ir žemos temperatūros fiksavimas.
kriopompa
① Žemos temperatūros kondensacija: dujų molekulės kondensuojasi ant šaltos plokštės paviršiaus arba ant kondensuoto dujų sluoksnio, o pusiausvyros slėgis iš esmės yra lygus kondensato garų slėgiui. Siurbiant vandenilį šaltos plokštės temperatūra yra žemesnė.
② Žemos temperatūros adsorbcija: dujų molekulės adsorbuojamos ant adsorbento paviršiaus, padengto šaltoje plokštelėje vieno molekulinio sluoksnio storiu. Adsorbcijos pusiausvyros slėgis yra daug mažesnis nei garų slėgis toje pačioje temperatūroje.
③ Kriogeninis gaudymas: dujų molekulės, kurių negalima kondensuoti esant ekstrahavimo temperatūrai, yra užkasamos ir adsorbuojamos augančio kondensuojamų dujų sluoksnio.